在半导体行业持续演进的进程中,先进封装技术已一跃成为各大晶圆大厂激烈角逐的战略要地。随着摩尔定律逐渐逼近物理极限,传统芯片制程微缩面临重重挑战,先进封装凭借其能够在不依赖制程工艺提升的前提下,实现芯片高密度集成、体积微型化以及成本降低等显著优势,完美契合了高端芯片向更小尺寸、更高性能、更低功耗发展的趋势,从而成为延续摩尔定律和超越摩尔定律的关键路径。
值得注意的是,近年来,除了风头颇盛的CoWoS外,CoPoS、EMIB-T等新的先进封装技术又被提出,主要晶圆大厂纷纷加快脚步,在先进封装领域积极开启新一轮技术布局和竞争。
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台积电:“化圆为方”引领封装变革
台积电作为半导体制造领域的领军企业,在先进封装技术方面始终走在行业前沿。其推出的CoPoS(Chip-on-Package-on-Substrate)技术,以“化圆为方”的创新性理念,彻底颠覆了传统封装模式。传统的圆形晶圆在封装过程中存在一定的局限性,而CoPoS技术直接将芯片排列在大型方形面板基板上进行封装,这种设计堪称对现有CoWoS-L或CoWoS-R技术的矩形化革新。
从技术层面深入剖析,CoPoS技术通过将传统圆形晶圆改为310x310毫米方形设计,极大地提升了单位面积的利用率。经测算,这一改进预计可降低约15%-20%的制造成本,成本优势十分显著。在产能布局方面,台积电规划在嘉义AP7厂区构建新一代先进封装技术CoPoS的量产工厂,目标是在2028年底至2029年实现量产。嘉义AP7厂区的规划充分彰显了台积电在先进封装领域的系统性投入。该园区分阶段建设8个产线单元,其中P4厂专门用于CoPoS量产,P2/P3厂则优先支持SoIC(晶圆级3D堆叠)技术,P1厂为苹果WMCM多芯片模组保留专属产能。与传统封装重镇南科AP8(主要聚焦CoWoS)相比,AP7厂区凭借更大的厂房空间以及更为完善的制程配套,将成为台积电整合SoIC、CoPoS等前沿封装技术的核心基地。
此外,台积电被曝已在为2026年苹果A20系列SoC(系统级芯片)的封装,启动了WMCM(Wafer-LevelMulti-ChipModule,晶圆级多芯片封装)新工艺试生产准备工作。WMCM是一种在晶圆级将多颗芯片集成封装的技术,能够在保持高集成度的同时,显著缩小封装体积并提升信号传输效率。
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英特尔:EMIB-T技术的升级与拓展
英特尔在先进封装领域同样成果斐然,其推出的EMIB(EmbeddedMulti-DieInterconnectBridge)技术,即嵌入式多芯片互联桥,已经成功投入生产。该技术突破了光罩尺寸的限制,实现了多芯片之间的高速互联。在需要高密度互连的芯片部位,通过将硅片嵌入基板,形成高密度互连桥,而其他区域则通过基板进行互连。在同一个封装内,甚至在同一个芯片的不同区域,EMIB互连和常规互连能够共存,台积电的CoWoS-L技术在一定程度上便是借鉴了EMIB技术。
在此基础上,英特尔进一步推出了EMIB-T先进封装技术。EMIB-T通过引入硅通孔(TSV)技术,对芯片之间的电源传输和数据通信进行了优化。与传统的EMIB相比,它摒弃了悬臂式的供电方式,而是借助封装底部的TSV直接供电,这一改进有效地降低了电阻,从而能够更好地支持像HBM4和HBM4e这样的高性能内存。同时,TSV技术还大幅增加了芯片间的通信带宽,并且兼容UCIe-A互联标准,数据传输速度超过32Gb/s。为了减少信号干扰,英特尔还在桥接器里加入了高功率的MIM电容器,确保信号传输更加稳定可靠。
在2025IEEE电子器件技术大会(ECTC)上,英特尔分享了其封装技术的最新进展。除了在供电稳定性方面通过EMIB-T取得突破外,英特尔还计划通过探索高精度、大光罩热压键合(TCB)的先进工艺来提高封装的良率和可靠性。随着封装尺寸不断增大,集成多芯片的复杂程度也同步提升,热压键合技术的应用将有助于应对这一挑战。此外,随着封装变得越来越复杂,尺寸不断增大,热设计功耗(TDP)也在持续增加。为有效解决散热难题,英特尔正在研发全新的分解式散热器技术,以及新一代热界面材料。这些创新技术能够更高效地将热量从热源传递到散热器的各个部分,进而显著提升整体的散热效率,为高性能芯片的稳定运行提供坚实保障。
03
联电:加码W2W3DIC先进封装
晶圆代工大厂联电在先进封装领域也展现出积极进取的姿态。近期,联电正考虑在南科收购瀚宇彩晶厂房,以大力推动其先进封装技术的发展。尽管联电对市场传言未作出直接回应,但公司高层明确表示,未来在中国台湾地区的产能规划将持续扩展,尤其是在先进封装领域将加大投入。
目前,联电在新加坡已成功建立2.5D封装产能,并掌握了晶圆对晶圆键合(Wafer-to-WaferBonding)技术,该技术在3DIC制造中起着至关重要的作用。此外,联电在南科运营的Fab12A厂自2002年开始量产,现已顺利导入14nm制程,专注于高阶定制化制造。未来,联电将依据业务发展与整体战略规划,充分结合既有的晶圆对晶圆键合技术,持续在中国台湾推进更完整的先进封装解决方案。
针对未来扩产方向,刘启东指出,联电将不再局限于传统晶圆代工,也将跨足先进封装等高附加价值领域。目前公司在新加坡已建置2.5D封装制程,并具备晶圆对晶圆键合(WafertoWaferBonding)技术,这是一项可在原子级层面进行晶圆堆叠的关键工艺,广泛应用于3DIC制造。联电在中国台湾的产线,也已具备该制程能力。
而就在去年,联电共同总经理王石曾表示,联电的3DIC解决方案已获得客户采用,首个应用为射频前端模组。联电不仅在RFSOI特殊制程方面有望实现市占率的显著增长,还会在内嵌式高压制程领域持续开拓客户资源。在先进封装领域,联电除了提供2.5D封装用的中间层(Interposer),还供应WoWHybridbonding(混合键和)技术,首个采用该技术的案件来自其采用自家RFSOI制程的既有客户。
去年12月,有消息称,联电夺得高通高性能计算(HPC)产品的先进封装大单,预计将应用在AIPC、车用以及AI服务器市场,甚至包括HBM的整合。同时,这也打破了先进封装代工市场由台积电、英特尔、三星等少数厂商垄断的态势。联电未对单一客户做出回应,但强调先进封装是公司重点发展的方向,并会与智原、矽统等子公司及存储供应伙伴华邦共同打造先进封装生态系统。
04
三星:SAINT技术构建3D封装新体系
三星在先进封装领域同样不甘落后,推出了SAINT(三星先进互连技术)。SAINT技术体系涵盖三种不同的3D堆叠技术:用于SRAM的SAINT-S、用于逻辑的SAINT-L和用于在CPU或GPU等逻辑芯片之上堆叠DRAM的SAINT-D。三星的新型3D封装方法别具一格,涉及将HBM芯片垂直堆叠在处理器顶部,这与现有的通过硅中介层水平连接HBM芯片和GPU的2.5D技术截然不同。这种垂直堆叠方法成功消除了对硅中介层的需求,但需要使用复杂的工艺技术制造用于HBM内存的新基片。
在韩国国内市场,三星积极扩充封装设施。三星与忠清南道此前及天安市签订协议,计划在天安建设一座先进的HBM封装工厂,占地28万平方米,并预计在2027年完成。此外,三星正在日本横滨建设AdvancedPackagingLab(APL),专注于研发下一代封装技术。该项目将致力于支持高价值芯片应用,如HBM、人工智能(AI)和5G技术。
05
AI和HBM推动先进封装方案进步
不难发现,晶圆大厂的先进封装方案大多聚焦于HBM内存堆叠。随着人工智能技术的迅猛发展,对高带宽内存(HBM)的需求呈爆发式增长。HBM能够提供极高的数据传输速率和带宽,满足AI芯片在处理海量数据时对内存性能的严苛要求。先进封装技术通过将HBM芯片与处理器芯片进行高效集成,能够显著提升芯片系统的整体性能和能效比。特别是HBM4的封装方式正在从传统的水平2.5D方法转向垂直3D堆叠。
以台积电为例,其先进封装技术如CoWoS、CoPoS等,为HBM内存与处理器的集成提供了可靠的解决方案。通过优化封装结构和互连技术,台积电能够实现HBM与处理器之间的高速数据传输,降低传输延迟,从而提高AI芯片的运算效率。英特尔的EMIB-T技术以及三星的SAINT技术,同样在HBM内存堆叠和集成方面具备独特优势,能够更好地支持高性能内存,提升芯片间的通信带宽和稳定性。
从市场需求来看,人工智能应用的快速发展,如深度学习、大数据分析、自然语言处理等,对计算能力和内存带宽提出了前所未有的要求。AI芯片作为这些应用的核心驱动力,需要借助先进封装技术将HBM内存与处理器紧密集成,以实现更高的性能和更低的功耗。因此,各大晶圆大厂纷纷围绕HBM内存堆叠布局先进封装方案,旨在满足AI市场的巨大需求,抢占人工智能时代半导体市场的制高点。
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